VGI 石墨即玻璃碳浸渍石墨，以多孔高纯石墨为基体，通过真空加压浸渍将玻璃碳前驱体渗入石墨内部孔隙，经固化、高温热解，在石墨骨架中原位生成玻璃碳，实现孔隙封堵。该材料具备低释气、低粉尘、耐等离子体冲刷、化学惰性强等特点，区别于普通表面涂层石墨，浸渍层与基体一体，冷热循环不易剥落。
应用领域
主要用于半导体离子注入设备栅极、束流屏蔽件、CVD 工艺腔体构件；电化学耐腐蚀电极、高纯物料熔炼坩埚、真空高温治具；也可用于分析仪器、特种腐蚀工况下的精密碳构件，满足高纯、低颗粒污染的严苛工艺要求。
制备工艺简述
制备核心工序包含基体预处理、真空浸渍、固化、高温热解。浸渍环节依托玻璃碳石墨浸渍罐与树脂浸渍罐完成真空 - 压力交替浸渍，抽真空排出石墨孔隙内气体，再加压使树脂前驱体充分渗透，保证浸渍深度与均匀性。山东众泰同泽机械有限公司可提供配套浸渍压力容器设备，实现 VGI 石墨浸渍工序的稳定量产，精准控制真空度、压力、升温曲线，保障浸渍致密性与制品批次一致性。
