玻璃碳浸渍石墨的用途与流程

一、用途

玻璃碳浸渍石墨（VGI 石墨），通过真空压力浸渍将前驱树脂渗入多孔石墨坯体，经热解转化为玻璃碳填充内部孔隙，可抑制石墨掉粉、降低放气，提升基材耐蚀性、耐磨性与纯度。主要应用于半导体离子注入电极、束流屏蔽件、高纯真空热场、腐蚀工况换热构件等领域，适用于对颗粒污染控制要求严苛的精密设备。山东众泰同泽机械有限公司可提供配套 VGI 石墨浸渍罐、树脂浸渍罐等压力容器装备，支撑该工艺工业化生产。

二、工艺流程

1. 坯体预处理：石墨工件烘干除水，清除孔隙内杂质；
2. 真空脱气：工件装入 VGI 石墨浸渍罐，抽真空排出石墨微孔内空气；
3. 树脂浸渍：在真空环境下注入酚醛类前驱树脂，加压促使树脂浸润填充石墨开口孔隙；树脂浸渍罐可完成该真空 - 加压浸渍工序；
4. 固化：罐内控温，使树脂交联固化；
5. 高温热解：惰性气氛高温热处理，树脂转化为玻璃碳；
6. 后处理与检测：可多次循环浸渍 - 热解进一步致密化，加工后检测孔隙率、粉尘析出、气密性指标。